CIQTEK DB500 - это автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп с колонкой со сфокусированным ионным лучом для наноанализа и подготовки образцов, который применяется с технологией «SuperTunnel», низкой аберрацией и безмагнитной конструкцией объектива, с низким напряжением и высоким разрешением. способность, которая обеспечивает его наномасштабные аналитические возможности. Ионная колонна позволяет использовать источник ионов жидкого металла Ga+ с высокостабильным и высококачественным ионным пучком, обеспечивающим возможности нанопроизводства.
DB500 оснащен встроенным наноманипулятором, системой впрыска газа, электрическим механизмом защиты от загрязнения объектива и 24 портами расширения, что делает его универсальной платформой для наноанализа и производства с комплексными конфигурациями и возможностью расширения.
• Технология электронной оптики «SuperTunnel» с безмагнитным объективом, подходящая для визуализации с высоким разрешением и совместимая с визуализацией магнитных образцов.
• Колонка сфокусированного ионного луча, которая генерирует высокостабильный и высококачественный ионный луч, подходящий для высококачественного нанопроизводства и подготовки образцов для ПЭМ.
• Манипулятор с пьезоэлектрическим приводом, расположенный в камере для образцов, со встроенной системой управления для точного манипулирования.
• Независимо разработанная система с широкими возможностями расширения. Конструкция встроенного источника ионов для быстрой замены источника ионов. Отличный сервис, подкрепленный включенной трехлетней гарантией.
Разрешение: 3 нм при 30 кВ
Ток зонда (диапазон тока ионного луча): 1 пА~50 нА
Диапазон ускоряющего напряжения: 500 В~30 кВ
Интервал замены источника ионов: ≥1000 часов.
Стабильность: 72 часа непрерывной работы.
Камера внутреннего монтажа
Трехосный полностью пьезоэлектрический привод.
Точность шагового двигателя ≤10 нм
Максимальная скорость перемещения 2 мм/с
Комплексное управление
Единый проект ГИС
Доступны различные источники прекурсоров газа.
Расстояние введения иглы ≥35 мм
Повторяемость движения ≤10 мкм
Повторяемость контроля температуры нагрева ≤0,1°C
Диапазон нагрева: комнатная температура ~ 90°C.
Комплексное управление
Электронно-лучевая система | Тип электронной пушки | Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки высокой яркости |
Разрешение | 1,2 нм при 15 кВ | |
Ускоряющее напряжение | 20 В~30 кВ | |
Ионно-лучевая система | Тип источника ионов | Источник ионов жидкого галлия |
Разрешение | 3 нм при 30 кВ | |
Ускоряющее напряжение | 500 В ~ 30 кВ | |
Камера для образцов | Вакуумная система | Полностью автоматическое управление, безмасляная вакуумная система |
Камеры |
Три камеры (Оптическая навигация + монитор камеры x2) |
|
Тип сцены | 5-осевой механический эвцентрический столик для образцов | |
Диапазон этапов |
X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм Т: -10°~+70°, Р:360° |
|
Детекторы и расширения | Стандартный |
Внутриобъективный детектор Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) |
Необязательный |
Выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) Выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Картина дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD) Наноманипулятор Система впрыска газа Плазменный очиститель Блокировка обмена образцами Панель управления трекболом и ручками |
|
Программное обеспечение | Языки | Английский |
Операционная система | Окна | |
Навигация | Nav-Cam, быстрая навигация с помощью жестов | |
Автоматические функции | Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигматор |