CIQTEK SEM5000X — это полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения (FE-SEM) с революционным разрешением 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ.
Благодаря обновленному процессу проектирования колонн, технологии «SuperTunnel» и конструкции объектива высокого разрешения SEM5000X может добиться дальнейшего улучшения разрешения изображений при низком напряжении. Количество портов камеры для образцов увеличивается до 16, а загрузочный замок для смены образцов поддерживает пластины размером до 8 дюймов (максимальный диаметр 208 мм), что значительно расширяет возможности применения. покрытие. Расширенные режимы сканирования и улучшенные автоматизированные функции обеспечивают более высокую производительность и еще более оптимизированную работу.
(*Дополнительные аксессуары)
Ключевые параметры | Разрешение | 0,6 нм при 15 кВ, SE 1,0 нм при 1 кВ, SE |
Ускоряющее напряжение | 20 В ~ 30 кВ | |
Увеличение | 1 ~ 2 500 000 х | |
Тип электронной пушки | Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки | |
Камера для образцов |
Вакуумная система
|
Полностью автоматизированное управление |
Камеры | Двойные камеры (оптическая навигация + монитор камеры) | |
Тип сцены | 5-осевой механический эвцентрический столик для образцов | |
Сценический диапазон | X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм Т: -10*~+70°, Р: 360° |
|
Детекторы и расширения | Стандартный | Внутриобъективный детектор Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) |
Необязательный | Выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) Выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Картина дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) Блокировка смены образцов (4 дюйма и 8 дюймов; опционально) Трекбол и усилитель; Ручка панели управления Тандемное торможение на стадии образца Магнитное поле и усилитель; Система акустического шумоподавления (сертификат SEMI) |
|
Программное обеспечение | Языки | Английский |
Операционная система | Окна |
|
Навигация | Nav-Cam, быстрая навигация с помощью жестов |
|
Автоматические функции | Автоматическая яркость и усиление; Контраст, автофокус, автоматический стигматор |