fib sem microscopy

ФИБ-СЭМ | ДБ550

Полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп (FE-SEM) с колонками со сфокусированным ионным пучком (FIB)

Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным лучом CIQTEK DB550 (FIB-SEM) оснащен колонной сфокусированного ионного луча для наноанализа и подготовки образцов. Он использует технологию «супертуннельной» электронной оптики, низкую аберрацию и немагнитную конструкцию объектива, а также имеет функцию «низкого напряжения, высокого разрешения», обеспечивающую его наноразмерные аналитические возможности.

Ионные колонны позволяют использовать источник ионов жидкого металла Ga+ с высокостабильными и высококачественными ионными пучками, что обеспечивает возможности нанопроизводства. DB550 — это универсальная рабочая станция для наноанализа и производства со встроенным наноманипулятором, системой впрыска газа и удобным программным обеспечением с графическим пользовательским интерфейсом.

FIB-SEM features

1. «Супертуннель» технология колонной электронной оптики/замедление луча внутри колонны

Уменьшение эффекта пространственной зарядки, обеспечение разрешения при низком напряжении.

2. Отсутствие пересечений на пути электронного луча

Эффективно уменьшайте аберрации объектива и улучшайте разрешение.

3. Электромагнитный и электростатический составной объектив

Уменьшите аберрации, значительно улучшите разрешение при низких напряжениях и обеспечьте возможность наблюдения магнитных образцов.

4. Объектив с постоянной температурой и водяным охлаждением

Обеспечить стабильность, надежность и повторяемость характеристик объектива.

5. Переменная система переключения апертуры с несколькими отверстиями за счет электромагнитного отклонения луча

Автоматическое переключение между апертурами без механического движения позволяет быстро переключаться между различными режимами визуализации.

Технические характеристики CIQTEK DB550 FIB-SEM

FIBSEM - Focused Ion Beam Column

Колонка с фокусированным ионным пучком (FIB)

Разрешение: 3 нм при 30 кВ

Ток датчика: от 1 пА до 65 нА

Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,5 до 30 кВ

Интервал замены источника ионов: ≥1000 часов

Стабильность: 72 часа непрерывной работы


FIBSEM - Nano-manipulator

Наноманипулятор

Камера внутреннего монтажа

Трехосный полностью пьезоэлектрический привод

Точность шагового двигателя ≤10 нм

Максимальная скорость перемещения 2 мм/с

Встроенная система управления


FIBSEM - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Совместная работа ионно-электронного пучка


FIBSEM - Gas Injection System

Система впрыска газа

Единый проект КРУЭ

Доступны различные источники прекурсоров газа

Расстояние введения иглы ≥35 мм

Повторяемость движения ≤10 мкм

Повторяемость контроля температуры нагрева ≤0,1°C

Диапазон нагрева: от комнатной температуры до 90°C (194°F)

Встроенная система управления

Полупроводник

В полупроводниковой промышленности микросхемы могут сталкиваться с различными неисправностями. Для анализа микросхем используются различные методы для повышения надежности. В частности, анализ сфокусированным ионным пучком (FIB) является надежным аналитическим методом.

Описание характеристик образцов / Изготовление микронано / Анализ поперечного сечения / Подготовка образцов TEM / Анализ отказов

Новая энергетика

Наблюдение и анализ сечений материалов для исследований и разработки процессов.

Наблюдение за морфологией/Анализ размеров частиц/Анализ поперечного сечения / Анализ состава и фаз/Анализ отказов материала литий-ионной батареи/Образец ПЭМ PРепарация

Керамический материал

Анализ материалов: система FIB-SEM может выполнять высокоточную микронанообработку и визуализацию керамических материалов в сочетании с различными режимами обнаружения сигналов, такими как обратно рассеянные электроны (BSE), энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия (EDX). , картина дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) и масс-спектрометрия вторичных ионов (SIMS) для изучения материала в микро- и наномасштабах с трехмерным пространством по глубине.

Материал сплава

Для повышения прочности, твердости, ударной вязкости и т. д. металлов в металл добавляются другие вещества, такие как керамика, металлы, волокна и т. д., с использованием таких методов, как металлургия, литье, экструзия и т. д., которые называются усиленными фазами.

Образец ПЭМ, подготовленный с помощью FIB-SEM, используется для наблюдения такой информации, как армированные фазы и граничные атомы, посредством передаваемых электронных сигналов. Образцы ПЭМ можно использовать для анализа дифракции Кикучи (TKD), металлографического анализа, композиционного анализа и испытаний поперечного сечения сплава на месте.

ⶠГрафический интерфейс пользователя

FIB-SEM software

Высокоинтегрированная платформа пользовательского интерфейса

Функции визуализации и обработки изображений с помощью SEM-микроскопа интегрированы в общий пользовательский интерфейс, при этом сравнительные ссылки отображаются слева и справа.

FIB-SEM software

Аппаратное обеспечение и пользовательские интерфейсы собственной разработки, такие как система впрыска газа и наноманипулятор, интуитивно понятный дизайн компоновки для простоты использования.

ⶠДетектор Эверхарта-Торнли (ETD)


ⶠВстроенный детектор электронов


ⶠВыдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) *Дополнительно


ⶠДетектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) *Дополнительно

  • Scanning Transmission Electron Microscopy Detector (STEM)


ⶠБлокировка обмена образца

Эффективно снижает загрязнение камеры. Линейная конструкция направляющих, открывание и закрывание в виде выдвижного ящика.

  • Specimen Exchange Loadlock


ⶠДостижения в электронной микроскопии CIQTEK — дополнительные возможности

Энергодисперсионная спектрометрия

  • Energy Dispersive Spectrometry

Католюминесценция

  • sem image analysis -Catholuminescence
  • sem image analysis - Catholuminescence

EBSD

  • sem EBSD
  • sem EBSD

Технические характеристики CIQTEK FIB-SEM DB550
Электронная оптика Тип электронной пушки Автоэлектронная пушка Шоттки высокой яркости
Разрешение 0,9 нм при 15 кВ; 1,6 нм при 1 кВ
Напряжение ускорения от 0,02 кВ до 30 кВ
Ионно-лучевая система Тип источника ионов Галлий
Разрешение 3 нм@30 кВ
Напряжение ускорения от 0,5 кВ до 30 кВ
Камера для образцов Вакуумная система Полностью автоматическое управление, безмасляная вакуумная система
Камеры

Три камеры

(Оптическая навигация x1 + монитор камеры x2)

Тип сцены Моторизованный 5-осевой механический эвцентрический столик для образцов
Диапазон ступеней

X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм

Т: -10°~+70°, Р:360°

СЭМ-детекторы и расширения Стандарт

Встроенный детектор электронов

Детектор Эверхарта-Торнли (ETD)

Необязательно

Выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED)

Выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM)

Энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX)

Картина дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD)

Наноманипулятор

Система впрыска газа

Плазменный очиститель

Блокировка обмена образца

Панель управления трекболом и ручкой

Пользовательский интерфейс Языки Английский
Операционная система Окна
Навигация Оптическая навигация, быстрая навигация с помощью жестов
Автоматические функции Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигмататор
Оставить сообщение
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам для получения более подробной информации, запроса ценового предложения или заказа онлайн-демонстрации! Мы ответим вам, как только сможем.
Предмет : ФИБ-СЭМ | ДБ550
Представлять на рассмотрение
сопутствующие товары
fesem edx

Эмиссионная электронная микроскопия с ультра-высоким разрешением (FESEM)А CIQTEK SEM5000X представляет собой FESEM с сверхвысоким разрешением с оптимизированной конструкцией столбца электронной оптики, снижая общие аберрации на 30%, достигая сверхвысокого разрешения 0,6 Нм при 15 кВ и 1,0 Нм при 1 кВ Его высокое разрешение и стабильность делают его выгодным в перспективных исследованиях наноструктурных материалов, а также в разработке и производстве высокотехнологичных полупроводниковых микросхем.

Узнать больше
field emission scanning electron microscope fe sem

Аналитический полевой эмиссионный сканирующий электронный микроскоп (FESEM) с большим лучом I CIQTEK SEM4000Pro представляет собой аналитическую модель FE-SEM, оснащенную высокояркой и долговечной автоэмиссионной электронной пушкой Шоттки. Конструкция трехступенчатой ​​электромагнитной линзы обеспечивает значительные преимущества в аналитических приложениях, таких как EDS/EDX, EBSD, WDS и других. В стандартную комплектацию он входит режим низкого вакуума и высокопроизводительный низковакуумный детектор вторичных электронов, а также выдвижной детектор обратно рассеянных электронов, который облегчает наблюдение за плохо проводящими или непроводящими образцами.

Узнать больше
scanning electron microscope market

Сканирующий электронный микроскоп нового поколения с вольфрамовой нитью CIQTEK SEM3300 сканирующий электронный микроскоп (SEM) включает в себя такие технологии, как «супертуннельная» электронная оптика, встроенные в линзу детекторы электронов и объективы из электростатических и электромагнитных соединений. Применяя эти технологии в микроскопе с вольфрамовой нитью, давний предел разрешения такого СЭМ превышается, что позволяет СЭМ с вольфрамовой нитью выполнять задачи анализа при низком напряжении, которые ранее были достижимы только с помощью СЭМ с автоэлектронной эмиссией.

Узнать больше
sem microscope price

Прочитайте Ciqtek СемМикроскопы Понимание клиентов и LЗаработайте больше о сильных сторонах и достижениях Ciqtek в качестве лидера индустрии SEM!Электронная почта: info@ciqtek.com

Узнать больше
Вершина

Оставить сообщение

Оставить сообщение
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам для получения более подробной информации, запроса ценового предложения или заказа онлайн-демонстрации! Мы ответим вам, как только сможем.
Представлять на рассмотрение

Дом

Продукты

Чат

контакт