Высокоскоростной сканирующий электронный микроскоп для кросс-масштабной визуализации образцов большого объема
CIQTEK HEM6000 оснащен такими технологиями, как электронная пушка с большим током высокой яркости, высокоскоростная система отклонения электронного луча, высоковольтное замедление предметного столика для образца, динамическая оптическая ось и иммерсионный электромагнитный и электростатический комбинированный объектив для достижения высоких результатов. -ускорение получения изображений при обеспечении наноразрешения.
Автоматизированный рабочий процесс предназначен для таких приложений, как более эффективный и интеллектуальный рабочий процесс обработки изображений с высоким разрешением на больших площадях. Скорость получения изображения может быть более чем в 5 раз выше, чем у обычного сканирующего электронного микроскопа с полевой эмиссией (fesem).
Время задержки 10 нс/пиксель, максимальная скорость получения изображения 2*100M пикселей/с
Электрооптические системы | Разрешение | 1,3 нм при 3 кВ, SE; 2,2 нм при 1 кВ, SE | |||
1,9 нм при 3 кВ, BSE; 3,3 нм при 1 кВ, BSE | |||||
Увеличение | 66 - 1 000 000x | ||||
Напряжение ускорения | 0,1 кВ - 6 кВ (режим замедления) | ||||
6 кВ - 30 кВ (режим без замедления) | |||||
Электронная пушка | Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки высокой яркости | ||||
Тип объектива | Погружной электромагнитный и электростатический комбинированный объектив | ||||
Система загрузки образцов | Вакуумная система | Полностью автоматическая безмасляная вакуумная система | |||
Мониторинг образцов | Горизонтальная камера наблюдения за основной камерой; камера контроля загрузочной шлюзовой камеры с вертикальной сменой проб | ||||
Максимальный размер выборки | 4 дюйма в диаметре | ||||
Этап образца |
Тип | Моторизованный 3-осевой столик для образцов (*дополнительный столик для образцов с пьезоэлектрическим приводом) | |||
Диапазон хода | X, Y: 110 мм; Z: 28 мм | ||||
Повторяемость | Х: ±0,6 мкм; Y: ±0,3 мкм | ||||
Обмен образцами |
Полностью автоматический | ||||
Продолжительность обмена образца | ï¼15 мин | ||||
Очистка камеры загрузочного шлюза | Полностью автоматическая система плазменной очистки | ||||
Получение и обработка изображений | Время задержки | 10 нс/пиксель | |||
Скорость сбора данных | 2*100 млн пикселей/с | ||||
Размер изображения | 8К*8К | ||||
Детектор и аксессуары |
Стандартная конфигурация | Встроенный детектор электронов | |||
Дополнительная конфигурация |
Детектор обратнорассеянных электронов под малым углом | ||||
Встроенный в колонку детектор обратнорассеянных электронов под большим углом | |||||
Пьезоэлектрический столик для образцов | |||||
Режим большого поля зрения высокого разрешения (SW) | |||||
Система плазменной очистки загрузочной камеры | |||||
6-дюймовая система загрузки образцов | |||||
Активная антивибрационная платформа | |||||
Подавление шума ИИ; сшивание полей большой площади; 3D реконструкция | |||||
Пользовательский интерфейс |
Язык | Английский | |||
ОС | Окна | ||||
Навигация | Оптическая навигация, быстрая навигация с помощью жестов | ||||
Автоматическая функция | Автоматическое распознавание образца, автоматический выбор области изображения, автоматическая яркость и контрастность, автофокусировка, автоматический стигатор |