Время задержки 10 нс/пиксель, максимальная скорость получения изображения 2*100M пикселей/с
Высокоскоростной сканирующий электронный микроскоп для перекрестной визуализации образцов большого объема
CIQTEK HEM6000 оснащен такими технологиями, как электронная пушка с большим током высокой яркости, высокоскоростная система отклонения электронного луча, высоковольтное замедление предметного столика для образца, динамическая оптическая ось и иммерсионный электромагнитный и электростатический комбинированный объектив. для достижения высокоскоростного получения изображений при обеспечении наноразрешения.
Автоматизированный рабочий процесс предназначен для таких приложений, как более эффективный и интеллектуальный рабочий процесс получения изображений с высоким разрешением на больших площадях. Скорость получения изображения может быть более чем в 5 раз выше, чем у обычного сканирующего электронного микроскопа с полевой эмиссией (FESEM).
Время задержки 10 нс/пиксель, максимальная скорость получения изображения 2*100M пикселей/с
HEM6000-Полу | HEM6000-Био | HEM6000-Лит |
Низкое напряжение и высокое разрешение | Низкое напряжение и высокое разрешение | Упрощенное управление |
Большое поле зрения | Различные автоматизированные алгоритмы в биологической области | Большие возможности выбора |
Специально оптимизированные алгоритмы для простого выравнивания часто повторяющихся образцов | Детектор BSE, оптимизированный для биологических применений | Высокоскоростной автоматизированный рабочий процесс |
Пятиступенчатое электростатическое отклонение | Система биологической 3D-реконструкции |
Технические характеристики высокоскоростного SEM-микроскопа CIQTEK HEM6000 | HEM6000-Полу | HEM6000-Био | HEM6000-Lite | |
Электронная оптика | Разрешение | 1,5 нм при 1 кВ SE | 1,8 нм при 1 кВ BSE | 1,5 нм при 15 кВ BSE |
Ускоряющее напряжение | 0,1 кВ~6 кВ (режим замедления) | 6 кВ~30 кВ (режим без замедления) | 6 кВ~30 кВ | |
Увеличение | 66~1 000 000x | |||
Электронная пушка | Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки высокой яркости | |||
Тип объектива | Погружной электромагнитный и электростатический комбинированный объектив | |||
Электростатический дефлектор | Пятиступенчатый | Четырехступенчатый | Четырехступенчатый | |
Система загрузки образцов | Вакуумная система | Полностью автоматическая безмасляная вакуумная система | ||
Мониторинг образцов | Горизонтальная камера наблюдения основной камеры; камера наблюдения за шлюзовой камерой с вертикальной сменой проб | |||
Максимальный размер выборки | 4 дюйма в диаметре | |||
Тип предметного столика | Моторизованный 3-осевой столик для образцов (*дополнительный столик для образцов с пьезоэлектрическим приводом) | |||
Звонок перемещения по сцене образца | X, Y: 110 мм; Z: 16 мм | |||
Повторяемость этапа образцов | Xï¼±0,6 мкмï¼Yï¼±0,3 мкм | |||
Обмен образцами | Полностью автоматический | |||
Продолжительность обмена образца | <15 минут | |||
Очистка загрузочной камеры | Полностью автоматическая система плазменной очистки | |||
Получение и обработка изображений | Время задержки | 10 нс/пиксель | ||
Скорость сбора данных | 2*100 млн пикселей/с | |||
Размер изображения | 16 К*16 К | |||
Детектор и аксессуары | Низкоугловой выдвижной детектор обратнорассеянных электронов | Необязательно | Нет | Стандарт |
Низкоугловой детектор обратно-рассеянных электронов, нижний монтаж | Необязательно | Стандарт | Нет | |
Встроенный в колонку детектор электронов | Стандарт | Необязательно | Необязательно | |
Встроенный в колонку детектор обратнорассеянных электронов под большим углом | Необязательно | Необязательно | Необязательно | |
Пьезоэлектрический столик для образцов | Необязательно | Необязательно | Необязательно | |
Режим высокого разрешения и большого поля зрения (SW) | Необязательно | Нет | Нет | |
Система плазменной очистки загрузочной камеры | Необязательно | Необязательно | Необязательно | |
6-дюймовая система загрузки образцов | Необязательно | Необязательно | Необязательно | |
Активная антивибрационная платформа | Необязательно | Необязательно | Необязательно | |
Аль шумоподавление; Сшивание в полевых условиях большой площади; 3D-реконструкция | Необязательно | Необязательно | Необязательно | |
Пользовательский интерфейс | Язык | Английский | ||
ОС | Окна | |||
Навигация | Оптическая навигация, навигация жестами | |||
Автоматическая функция | Автоматическое распознавание образца, автоматический выбор области изображения, автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигатор |