Время задержки 10 нс/пиксель, максимальная скорость получения изображения 2*100M пикселей/с
Высокоскоростной Полностью автоматизированная полевая эмиссия Сканирующий электронный микроскоп Рабочая станция
CIQTEK HEM6000 В оборудовании используются такие технологии, как сверхъяркая электронная пушка с большим током пучка, высокоскоростная система отклонения электронного пучка, высоковольтное торможение предметного столика, динамическая оптическая ось и иммерсионный электромагнитный и электростатический комбинированный объектив, позволяющие достигать высокоскоростного получения изображений, обеспечивая при этом разрешение в наномасштабе.
Автоматизированный рабочий процесс предназначен для таких приложений, как более эффективный и интеллектуальный рабочий процесс получения изображений большой площади с высоким разрешением. Скорость получения изображений более чем в пять раз выше, чем у обычного сканирующего электронного микроскопа с полевой эмиссией (FESEM).
Высокоскоростной
Время задержки 10 нс/пиксель, максимальная скорость получения изображения 2*100M пикселей/с
Фильтрация электронных сигналов
Полностью электростатический
Образец Стадия
Электромагнитная и электростатическая комбинированная иммерсионная система отклонения луча объектива
| HEM6000-Полу | HEM6000-Био | HEM6000-Лит |
| Низкое напряжение и высокое разрешение | Низкое напряжение и высокое разрешение | Упрощенная эксплуатация |
| Большое поле зрения | Различные автоматизированные алгоритмы для биологической области | Множество вариантов выбора |
| Специально оптимизированные алгоритмы для легкого выравнивания часто повторяющихся образцов | Детектор BSE, оптимизированный для биологических применений | Высокоскоростной автоматизированный рабочий процесс |
| Пятиступенчатое электростатическое отклонение | Система биологической 3D-реконструкции |
|
Высокоскоростной СЭМ-микроскоп CIQTEK HEM6000 |
Внутри завода CIQTEK: экскурсия по производству электронных микроскопов |
| Технические характеристики высокоскоростного СЭМ-микроскопа CIQTEK HEM6000 | HEM6000-Полу | HEM6000-Био | HEM6000-Lite | |
| Электронная оптика | Разрешение | 1,5 нм при 1 кВ SE | 1,8 нм при 1 кВ BSE | 1,5 нм при 15 кВ BSE |
| Ускоряющее напряжение | 0,1 кВ~6 кВ (Режим замедления) | 6 кВ~30 кВ (режим без замедления) | 6 кВ~30 кВ | |
| Увеличение | 66~1,000,000x | |||
| Электронная пушка | Высокояркая полевая электронная пушка Шоттки | |||
| Тип объектива | Иммерсионный электромагнитный и электростатический комбинированный объектив | |||
| Электростатический дефлектор | Пятиступенчатый | Четырехступенчатый | Четырехступенчатый | |
| Система загрузки образцов | Вакуумная система | Полностью автоматическая безмасляная вакуумная система | ||
| Мониторинг образцов | Горизонтальная камера наблюдения за основной камерой; вертикальная камера наблюдения за шлюзовой камерой обмена образцами | |||
| Максимальный размер выборки | 4 дюйма в диаметре | |||
| Тип образца | Моторизованный 3-осевой предметный столик (*опционально предметный столик с пьезоэлектрическим приводом) | |||
| Диапазон перемещения образца | X, Y: 110 мм; Z: 16 мм | |||
| Повторяемость образца | X:±0,6 мкм; Y:±0,3 мкм | |||
| Обмен образцами | Полностью автоматический | |||
| Продолжительность обмена образцами | <15 минут | |||
| Очистка камеры шлюза | Полностью автоматическая система плазменной очистки | |||
| Получение и обработка изображений | Время выдержки | 10 нс/пиксель | ||
| Скорость получения | 2*100 Мпикс/с | |||
| Размер изображения | 16 К*16 К | |||
| Детектор и аксессуары | Низкоугольный выдвижной детектор обратно рассеянных электронов | Необязательный | Никто | Стандарт |
| Детектор обратно рассеянных электронов с малым углом наклона, нижний монтаж | Необязательный | Стандарт | Никто | |
| Детектор электронов в колонне | Стандарт | Необязательный | Необязательный | |
| Внутриколонный детектор обратнорассеянных электронов с большим углом | Необязательный | Необязательный | Необязательный | |
| Пьезоэлектрический столик для образцов | Необязательный | Необязательный | Необязательный | |
| Режим высокого разрешения с большим полем зрения (SW) | Необязательный | Никто | Никто | |
| Система плазменной очистки загрузочной камеры | Необязательный | Необязательный | Необязательный | |
| 6-дюймовая система загрузки образцов | Необязательный | Необязательный | Необязательный | |
| Активная антивибрационная платформа | Необязательный | Необязательный | Необязательный | |
| Уменьшение шума; Сшивание больших областей поля; 3D-реконструкция | Необязательный | Необязательный | Необязательный | |
| Пользовательский интерфейс | Язык | Английский | ||
| ОС | Окна | |||
| Навигация | Оптическая навигация, навигация жестами | |||
| Автоматическая функция | Автоматическое распознавание образца, автоматический выбор области визуализации, автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор | |||