Сканирующая электронная микроскопия сверхвысокого разрешения (FESEM): 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ
В CIQTEK SEM5000X сверхвысокого разрешения FESEM используется модернизированный процесс проектирования колонн, технология «SuperTunnel» и конструкция объектива высокого разрешения для улучшения разрешения изображений при низком напряжении.
Количество портов камеры для образцов FESEM SEM5000X увеличивается до 16, а загрузочный замок для смены образцов поддерживает пластины размером до 8 дюймов (максимальный диаметр 208 мм), что значительно расширяет возможности применения. Расширенные режимы сканирования и расширенные автоматизированные функции повышают производительность и еще более оптимизируют работу.
(*Дополнительные аксессуары для FESEM SEM5000X)
Технические характеристики CIQTEK FESEM SEM5000X |
||
Основные параметры | Разрешение |
0,6 нм @ 15 кВ, SE 1,0 нм при 1 кВ, SE |
Напряжение ускорения | 0,02~30 кВ | |
Увеличение | 1~2 500 000 x | |
Тип электронной пушки | Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки | |
Камера для образцов |
Вакуумная система
|
Полностью автоматизированное управление |
Камеры | Двойные камеры (оптическая навигация + монитор камеры) | |
Тип сцены | 5-осевой механический эвцентрический столик для образцов | |
Диапазон ступеней |
X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм Т: -10*~+70°, Р: 360° |
|
СЭМ-детекторы и расширения | Стандарт |
Внутренний детектор Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) |
Необязательно |
Выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) Выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) Энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) Картина дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD) Загрузочный замок для замены образцов (опционально 4 и 8 дюймов) Панель управления трекболом и ручкой Тандемное торможение на стадии образца Система защиты от магнитного поля и акустического шума (сертификат SEMI) |
|
Программное обеспечение | Языки |
Английский |
Операционная система |
Окна |
|
Навигация |
Навигационная камера, быстрая навигация с помощью жестов |
|
Автоматические функции |
Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигатор |