Аналитический сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FESEM), оснащенный высокояркой и долговечной автоэмиссионной электронной пушкой Шоттки
Конструкция трехступенчатой электромагнитной линзы CIQTEK SEM4000Pro обеспечивает значительные преимущества в аналитических приложениях, таких как EDS, EBSD, WDS и других. В стандартную комплектацию он входит режим низкого вакуума и высокопроизводительный низковакуумный детектор вторичных электронов, а также выдвижной детектор обратнорассеянных электронов, который облегчает наблюдение за плохо проводящими или непроводящими образцами.
В режиме низкого вакуума диапазон 10–180 Па может быть достигнут без отверстия для ограничения давления. Специально разработанная вакуумная камера объектива минимизирует длину свободного пробега электронов в условиях низкого вакуума и обеспечивает разрешение 1,5 нм при 30 кВ в режиме низкого вакуума.
Вторичная электронная эмиссия с поверхности образца ионизирует молекулы воздуха и одновременно генерирует электроны, ионы и фотоны. Генерируемые электроны дополнительно ионизируют другие молекулы воздуха, детектор вторичных электронов в низком вакууме (LVD) улавливает большое количество фотонных сигналов, образующихся в таком процессе.
Падающий электронный луч ионизирует молекулы воздуха на поверхности образца, генерируя электроны и ионы. Эти ионы нейтрализуют заряд поверхности, тем самым уменьшая эффект зарядки.
Программное обеспечение CIQTEK SEM Microscope использует различные алгоритмы обнаружения и сегментации целей, подходящие для различных типов частиц и образцов пор. он позволяет проводить количественный анализ статистики частиц и пор и может применяться в таких областях, как материаловедение, геология и наука об окружающей среде.
Выполняйте постобработку онлайн или офлайн изображений, полученных с помощью электронных микроскопов, и интегрируйте широко используемые функции обработки ЭМ-изображений, удобные инструменты измерения и аннотации.
Автоматическое распознавание границ ширины линии, что приводит к более точным измерениям и большей согласованности. Поддержка нескольких режимов обнаружения краев, таких как линия, пространство, шаг и т. д. Совместимость с несколькими форматами изображений и оснащен различными часто используемыми функциями постобработки изображений. Программное обеспечение простое в использовании, эффективное и точное.
Предоставить набор интерфейсов для управления SEM-микроскопом, включая получение изображений, настройки рабочих условий, включение/выключение питания, управление столиком и т. д. Краткие определения интерфейсов позволяют быстро разрабатывать конкретные сценарии работы электронного микроскопа и программное обеспечение, позволяющее автоматическое отслеживание интересующих регионов, сбор данных промышленной автоматизации, коррекция дрейфа изображения и другие функции. Может использоваться для разработки программного обеспечения в специализированных областях, таких как диатомовый анализ, контроль примесей в стали, анализ чистоты, контроль сырья и т. д.
Технические характеристики микроскопа CIQTEK SEM4000Pro FESEM | |||
Электронная оптика | Разрешение | Высокий вакуум |
0,9 нм @ 30 кВ, SE |
Низкий вакуум |
2,5 нм при 30 кВ, BSE, 30 Па 1,5 нм при 30 кВ, SE, 30 Па |
||
Напряжение ускорения | 0,2 кВ ~ 30 кВ | ||
Увеличение (Полароид) | 1 ~ 1 000 000 x | ||
Тип электронной пушки | Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки | ||
Камера для образцов | Низкий вакуум | Макс. 180 Па | |
Камера | Двойные камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры) | ||
Диапазон XY | 110 мм | ||
Диапазон Z | 65 мм | ||
Диапазон Т | -10° ~ +70° | ||
Диапазон R | 360° | ||
СЭМ-детекторы и расширения | Стандарт |
Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) Детектор низкого вакуума (LVD) Детектор обратных электронов (BSED) |
|
Необязательно |
Выдвижной детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (STEM) Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Картина дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD) Загрузочный замок для замены образцов (4 дюйма / 8 дюймовï¼ Панель управления трекболом и ручкой |
||
Пользовательский интерфейс | Язык | Английский | |
ОС | Окна | ||
Навигация | Оптическая навигация, быстрая навигация с помощью жестов, трекбол (опция) | ||
Автоматические функции | Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигмататор |