Эмиссионная электронная микроскопия с ультра-высоким разрешением (FESEM)
А CIQTEK SEM5000X представляет собой FESEM с сверхвысоким разрешением с оптимизированной конструкцией столбца электронной оптики, снижая общие аберрации на 30%, достигая сверхвысокого разрешения 0,6 Нм при 15 кВ и 1,0 Нм при 1 кВ Его высокое разрешение и стабильность делают его выгодным в перспективных исследованиях наноструктурных материалов, а также в разработке и производстве высокотехнологичных полупроводниковых микросхем.
(*Необязательный)
Обновление объективного обновления
Хроматическая аберрация линзы снижалась на 12%, сферическая аберрация линзы снижалась на 20%, а общая аберрация была снижена на 30%
Технология замедления двойного луча
Замедление луча в объективах, применимое к образцам с большими объемами, поперечными сечениями и нерегулярными поверхностями Технология двойного замедления (Deceleration Beam в линзе + Deply Stare Tandem Beam Deceleration) вызывает ограничения сценариев поверхностной поверхности образца
«Эффект электронного канала» относится к значительному снижению рассеяния электронов с помощью кристаллических решетков, когда падающий электронный луч удовлетворяет условию дифракции Брэгга, позволяя большому количеству электронов проходить через решетку, что демонстрирует эффект «канала»
Для поликристаллических материалов с однородным составом и полированными плоскими поверхностями интенсивность электронов обратного рассеяния опирается на относительную ориентацию между падающим электронным пучком и плоскостями кристаллов Зерна с большим изменением ориентации демонстрируют более сильные сигналы, поэтому более яркие изображения, достигается качественная характеристика с такой картой ориентации зерна
>> Несколько режимов эксплуатации: Ярко-поле (BF) визуализация, темная визуализация (DF), высокоугольная кольцевая визуализация (HAADF) с высоким углом (HAADF)
>> Энергетическая спектрометрия
>>Католюминесценция
Программное обеспечение для микроскопа CIQTEK SEM использует различные алгоритмы обнаружения и сегментации цели, подходящие для различных типов образцов частиц и пор Это обеспечивает количественный анализ статистики частиц и пор и может применяться в таких областях, как материаловая наука, геология и наука о окружающей среде
Выполните онлайн или автономный изображение после обработки изображений на изображениях, снятых электронными микроскопами, и интегрируйте обычно используемые функции обработки изображений EM, удобные измерения и инструменты аннотации
Автоматическое распознавание краев ширины линии, что приводит к более точным измерениям и более высокой согласованности Поддерживайте несколько режимов обнаружения краев, таких как линия, пространство, шаг и т Д Совместимы с несколькими форматами изображения и оснащены различными обычно используемыми функциями пост-обработки изображения Программное обеспечение проще в использовании, эффективном и точном
Предоставьте набор интерфейсов для управления микроскопом SEM, включая получение изображения, настройки условий работы, включение/выключение мощности, управление этапами и т Д Краткие определения интерфейса позволяют быстро разработать конкретные сценарии работы электронного микроскопа, обеспечение автоматического отслеживания интересующих регионов, сбора данных промышленной автоматизации, коррекции дрейффона и других функций Может использоваться для разработки программного обеспечения в специализированных областях, таких как анализ диатомовой индексы, проверка примесей стали, анализ чистоты, контроль сырья и т Д
Спецификации микроскопа CIQTEK SEM5000X | ||
Электронная оптика | Разрешение | 0,6 Нм при 15 кВ, SE 1,0 нм при 1 кВ, SE |
Напряжение ускорения | 0 02 кВ ~ 30 кВ | |
Увеличение | 1 ~ 2 500 000 x | |
Электронный тип пистолета | Электронно -эмиссионное пистолет Schottky Field | |
Образец камера | Камеры | Двойные камеры (оптическая навигация + камер -монитор) |
Тип сцены | 5-осевая механическая эуцентрическая стадия образца | |
Сцена диапазона | X = 110 мм, y = 110 мм, z = 65 мм T: -10*~+70 °, R: 360 ° | |
СЭМ -детекторы и расширения | Стандартный | В линзе детектор Детектор Everhart-Thornley (ETD) |
Необязательный | Выдвижной детектор электронов (BSED) Детектор с выдвижным сканирующим просвечивающим электронным микроскопией (STEM) Низкий вакуумный детектор (LVD) Энергетический спектрометр (EDS / EDX) Дифракционная картина дифракции электронного рассеяния (EBSD) Образец обмена загрузкой (4 дюйма / 8 дюймов) Панель управления трекболом и ручкой Duo-Dec Mode (Duo-Dec) | |
Пользовательский интерфейс | Языки | Английский |
Операционная система | Окна | |
Навигация | Оптическая навигация, жест быстрая навигация, трекбол (необязательно) | |
Автоматические функции | Автоматическая яркость и контрастность, автофокусировка, автоматическая стигматор |