Аналитический сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FESEM), оснащенный высокояркой и долговечной автоэмиссионной электронной пушкой Шоттки
Благодаря конструкции трехступенчатой конденсаторной электронно-оптической колонки для токов пучка до 200 нА SEM4000Pro обеспечивает преимущества в EDS, EBSD, WDS и других аналитических приложениях. Система поддерживает режим низкого вакуума, а также высокопроизводительный детектор вторичных электронов с низким вакуумом и выдвижной детектор обратно рассеянных электронов, которые могут помочь напрямую наблюдать плохо проводящие или даже непроводящие образцы.
Стандартный режим оптической навигации и интуитивно понятный пользовательский интерфейс облегчают работу по анализу.
• Оснащен автоэмиссионной электронной пушкой Шоттки высокой яркости и долговечности
• Высокое разрешение 0,9 нм при 30 кВ
• Трехступенчатая конструкция конденсорной линзы, широкий диапазон регулировки тока луча с максимальными токами луча до 200 нА
• Стандартный режим низкого вакуума, высокопроизводительный детектор вторичных электронов в низком вакууме и выдвижной детектор обратнорассеянных электронов
• Дизайн объектива без иммерсионного магнитного поля позволяет непосредственно наблюдать магнитные образцы
• Стандартный режим оптической навигации
Ключевые параметры | Разрешение | Высокий вакуум |
0,9 нм при 30 кВ, SE |
Низкий вакуум |
2,5 нм при 30 кВ, BSE, 30 Па 1,5 нм при 30 кВ, SE, 30 Па |
||
Напряжение ускорения | 0,2 ~ 30 кВ | ||
Увеличение | 1 ~ 1 000 000 x | ||
Тип электронной пушки | Автоэмиссионная электронная пушка Шоттки высокой яркости | ||
Камера для образцов | Вакуумная система | Полностью автоматизированное управление | |
Низкий вакуум (опция) | Макс. 180 Па | ||
Камера | Двойные камеры (оптическая навигация + мониторинг камеры) | ||
Расстояние |
Х: 110 мм Y: 110 мм Z: 65 мм Т: -10°~ +70° П: 360° |
||
Детекторы и расширения | Стандарт |
Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) Детектор низкого вакуума (LVD) Детектор обратных электронов (BSED) |
|
Необязательно |
Детектор STEM Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Картина дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD) Блокировка обмена образца Панель управления трекболом и ручкой |
||
Программное обеспечение | Язык | Английский | |
ОС | Окна | ||
Навигация | Навигационная камера, быстрая навигация с помощью жестов | ||
Автоматические функции | Автоматическая яркость и контрастность, автофокус, автоматический стигмататор |