Наномасштабная прецизионная выборка с помощью DualBeam FIB-SEM: применение наноманипуляций в полупроводниковых и биомедицинских исследованиях

Почему важен точный отбор проб в наномасштабе

В таких передовых областях, как материаловедение, науки о жизни и исследования полупроводниковых приборов, прецизионный отбор проб в наномасштабе часто является предпосылкой для значимых результатов. Будь то извлечение определенного места отказа из полупроводникового кристалла или изоляция органелл из отдельной клетки, обычные методы отбора проб часто не оправдывают ожиданий, не имея разрешения, точности и контроля окружающей среды, необходимых для высокочувствительного анализа.

Вот где продвинутый FIB-SEM (сканирующая электронная микроскопия с фокусированным ионным пучком) системы входят, особенно те, которые оснащены интегрированный наноманипулятор . Среди них, Двухлучевой СЭМ CIQTEK DB550 выделяется высоким разрешением изображений, точностью манипуляций на уровне пикометра и бесшовной интеграцией инструментов подготовки, извлечения и анализа образцов.

Как CIQTEK DB550 улучшает обработку образцов в наномасштабе

1. Высокоразрешающая сканирующая электронная микроскопия для идентификации целевого участка

Электронная колонна с полевой эмиссией CIQTEK FIB-SEM DB550 обеспечивает исключительную четкость изображения, достигая разрешения до 0,9 нм при 15 кВ, что идеально подходит для разрешения сложных микроструктур. Эта возможность SEM высокого разрешения позволяет исследователям визуально перемещаться по сложным поверхностям и точно определять области интереса, будь то наночастицы в композите, органеллы внутри клеток или структурные дефекты в расширенных узлах анализ отказов полупроводников .

2. Интегрированный наноманипулятор для точности на уровне пикометра

Наноманипулятор, встроенный в DB550, обеспечивает трехмерное управление с точностью позиционирования в пикометрическом масштабе, что делает его идеальным для подготовка образцов для конкретного участка . Он позволяет исследователям приближаться, захватывать и вынимать микро- и наноразмерные объекты с замечательным контролем. Например, наноманипулятор может деликатно извлекать определенную нанопроволоку из плотной сети или изолировать область мембраны в биологических образцах, и все это при минимизации механического напряжения.

Эта функция особенно ценна для таких рабочих процессов, как:

• Извлечение образца из полупроводниковых приборов с помощью просвечивающего электронного микроскопа
• Нанозондирование для электрических испытаний
• Изоляция образцов для одноклеточных омик

3. Обеспечение максимальной целостности образца во время переноса

Одной из проблем в наномасштабном отборе проб является сохранение исходной структуры и химии образца. DB550 решает эту проблему посредством:

• Динамический контроль силы, предотвращающий деформацию или поломку во время манипуляций
• Вакуум класса «чистая комната» и протоколы защиты от загрязнения, защищающие образец от воздействия окружающей среды

Это обеспечивает наноэкстракцию с минимальным повреждением, что имеет решающее значение для последующего анализа с помощью EDS (энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии), EBSD или TEM.

4. Бесперебойный рабочий процесс с функцией Dual Beam

Синергия сфокусированного ионного пучка и электронного пучка в DB550 позволяет реализовать полный цикл отбора проб и анализа:

• Фрезерование FIB может предварительно обработать место отбора проб и удалить поверхностные загрязнения или вырыть траншеи
• Наноманипулятор затем вынимает точную секцию
• Анализ SEM или EDS на месте может быть выполнено немедленно для проверки в режиме реального времени

Этот универсальная платформа для наномасштабной манипуляции значительно повышает эффективность, сохраняя при этом точность данных.

Почему CIQTEK DB550 идеально подходит для продвинутой наноманипуляции

Технологическая независимость: фирменные основные технологии CIQTEK обеспечивают производительность на уровне ведущих мировых брендов по более конкурентоспособной цене.

Интеграция рабочего процесса: от измельчения сфокусированным ионным пучком до извлечения образца, DB550 поддерживает манипуляции и визуализацию на месте, что снижает необходимость во внешних системах

Дизайн, ориентированный на пользователя: полностью локализованное программное обеспечение, интуитивно понятная навигация и возможности автоматизации повышают доступность как для новых, так и для опытных пользователей.

Независимо от того, готовите ли вы специфичные для участка ламели для TEM, изолируете особенности биологической ткани или выполняете сложные наноманипуляции в электронной микроскопии, DB550 предлагает мощное и универсальное решение. Это не просто инструмент. Это экосистема наномасштабных выборок, разработанная для того, чтобы ваши исследования оставались на переднем крае.

Исследуйте, как CIQTEK DB550 двухлучевой FIB-SEM может оптимизировать ваши рабочие процессы в области наноинженерии: от точного извлечения до чистого извлечения образцов и анализа в реальном времени.