Детекторы сканирующего электронного микроскопа

Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) — мощный инструмент для различных применений в науках о материалах, науках о жизни и других областях. Для получения дополнительной информации и улучшения характеристик СЭМ были разработаны различные виды детекторов. Ниже приведены несколько распространенных типов детекторов SEM :

Детектор обратно рассеянных электронов (BSE). Детекторы BSE используются для обнаружения электронов, рассеянных ядрами атомов и элементов с большим атомным номером в веществе. Детекторы BSE обеспечивают высококонтрастные изображения, которые можно использовать для композиционного анализа материалов и определения характеристик микроструктур.

Детектор вторичных электронов (SE): Детектор SE используется для обнаружения вторичных электронов на поверхности материала, возбуждаемого сканирующим электронным лучом. Поскольку морфология поверхности и состав материала влияют на вторичные электроны, детектор SE обеспечивает изображение топографии поверхности с высоким разрешением.

Детектор трансмиссионных электронов (TED): Детекторы TED используются для обнаружения трансмиссионных электронов, которые проходят через тонкий лист материала и фокусируются на детекторе. Детекторы TED подходят для композиционного и структурного анализа материалов с высоким разрешением, например, для определения характеристик наночастиц на атомном уровне.

Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия (ЭДС): детекторы ЭДС используются для анализа элементного состава материалов. Когда сканирующий электронный луч взаимодействует с образцом, образуются характеристические рентгеновские лучи, а детектор EDS собирает и измеряет энергетический спектр этих рентгеновских лучей для определения химического состава и распределения элементов материала.

Детектор замедляющего поля (RFD): Детектор RFD используется для измерения заряда, переносимого электронами, генерируемыми на поверхности образца. Этот тип детектора очень полезен для изучения электропроводности и свойств поверхностного заряда материалов.

Это лишь некоторые из распространенных детекторов SEM; на самом деле существует множество других типов детекторов, каждый из которых имеет свои преимущества и области применения. Выбор подходящего детектора зависит от целей исследования и информации, которую необходимо получить.

SEM собственной разработки CIQTEK предлагает широкий выбор детекторов, таких какBSED, STEM, EDS, EDX, EBSD, In-lens, ETDи т. д.