fib sem microscopy
fib sem microscopy

FIB-SEM | DB550

Га + Сканирующий электронный микроскоп с автоэмиссией и фокусированным ионным пучком

The Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB-SEM) CIQTEK DB550 Оснащена колонной с фокусированным ионным пучком для наноанализа и подготовки образцов. Она использует технологию «супертуннельной» электронной оптики, низкую аберрацию и немагнитную конструкцию объектива, а также обладает функцией «низкое напряжение, высокое разрешение», обеспечивающей аналитические возможности в наномасштабе.

Ионные колонки облегчают Ga + Источник ионов жидкого металла с высокостабильными и высококачественными ионными пучками, обеспечивающий возможности нанопроизводства. DB550 — это универсальная рабочая станция для наноанализа и производства нанокомпонентов со встроенным наноманипулятором, системой впрыска газа и удобным графическим интерфейсом.

FIB-SEM features

1. «Супертуннель» " технология электронно-оптической колонны/торможение пучка в колонне

Уменьшает эффект пространственной зарядки, обеспечивая разрешение при низком напряжении.

2. Отсутствие кроссовера на пути электронного пучка

Эффективно уменьшает аберрации объектива и улучшает разрешение.

3. Электромагнитный и электростатический составной объектив

Уменьшить аберрации, значительно улучшить разрешение при низких напряжениях и обеспечить наблюдение за магнитными образцами.

4. Объектив с водяным охлаждением и постоянной температурой

Обеспечить стабильность, надежность и повторяемость характеристик объектива.

5. Система переключения апертуры с несколькими отверстиями с помощью электромагнитного отклонения луча

Автоматическое переключение между апертурами без механического движения позволяет быстро переключаться между различными режимами съемки.

Технические характеристики CIQTEK DB550 FIB-SEM

FIBSEM - Focused Ion Beam Column

Колонна с фокусированным ионным пучком (FIB)

Разрешение: 3 нм при 30 кВ

Ток зонда: от 1 пА до 65 нА

Диапазон ускоряющего напряжения: от 0,5 кВ до 30 кВ

Интервал замены источника ионизации: ≥1000 часов

Стабильность: 72 часа бесперебойной работы


FIBSEM - Nano-manipulator

Нано-манипулятор

Камера с внутренним монтажом

Трех- или четырехосный пьезоэлектрический привод

Размер шага ≤ 10 нм

Максимальное движение 2 мм/с

Интегрированная система управления пользовательским интерфейсом

4-осевой манипулятор с функцией вращения

4-Axis Manipulator with Rotation Functionality


FIBSEM - Ion Beam-Electron Beam Collaboration

Сотрудничество ионно-электронных пучков


FIBSEM - Gas Injection System

Система впрыска газа

Единая конструкция ГИС

Доступны различные источники прекурсоров газа

Расстояние введения иглы ≥35 мм

Повторяемость движения ≤10 мкм

Повторяемость контроля температуры нагрева ≤ 0,1°C

Диапазон нагрева: от комнатной температуры до 90°C (194 °F )

Интегрированная система управления

>> Полупроводник

В полупроводниковой промышленности микросхемы могут сталкиваться с различными неисправностями. Для повышения надёжности используются различные методы анализа микросхем. В частности, анализ с помощью фокусированного ионного пучка (ФИП) является надёжным аналитическим методом.

Характеристика образцов / Изготовление микро- и наноматериалов / Анализ поперечных сечений / Подготовка образцов для просвечивающей электронной микроскопии / Анализ отказов

>> Новая энергетическая промышленность

Наблюдение и анализ поперечных сечений материалов для исследований и разработки процессов.

Наблюдение за морфологией / Анализ размера частиц / Анализ поперечного сечения / Анализ состава и фаз / Анализ отказов материала литий-ионного аккумулятора / Образец P, полученный методом просвечивающего электронного микроскопа возмещение ущерба

>> Керамический материал

Анализ материалов: Система FIB-SEM может выполнять высокоточную микро- и нанообработку и визуализацию керамических материалов в сочетании с различными режимами обнаружения сигналов, такими как обратно рассеянные электроны (BSE), энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия (EDX), картина дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) и масс-спектрометрия вторичных ионов (SIMS), для изучения материалов в микро- и наномасштабе в трехмерном пространстве по глубине.

>> Материал сплава

Для повышения прочности, твердости, ударной вязкости и т. д. металлов в металл добавляют другие вещества, такие как керамика, металлы, волокна и т. д., используя такие методы, как металлургия, литье, экструзия и т. д., которые называются армированными фазами.

Образцы для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ), подготовленные с помощью FIB-SEM, используются для наблюдения за такими данными, как упрочнённые фазы и граничные атомы, посредством проходящих электронных сигналов. Образцы для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ) могут использоваться для анализа методом просвечивающей дифракции Кикучи (TKD), металлографического анализа, анализа состава и испытаний поперечного сечения сплава in situ.

Графический пользовательский интерфейс

FIB-SEM software

Высокоинтегрированная платформа пользовательского интерфейса

Функции визуализации и обработки данных микроскопа SEM интегрированы в общий пользовательский интерфейс, а сравнительные ссылки отображаются слева и справа.

FIB-SEM software

Собственная разработка дополнительных аппаратных средств и пользовательских интерфейсов, таких как система впрыска газа и наноманипулятор, интуитивно понятный дизайн компоновки для удобства эксплуатации.

Детектор Эверхарта-Торнли (ETD)


Внутрилинзовый детектор электронов


Выдвижной детектор обратно рассеянных электронов (BSED) *Необязательный


Детектор сканирующей просвечивающей электронной микроскопии (СТЭМ) *Необязательный


Шлюз для обмена образцами

Эффективно снижает загрязнение камеры. Линейная конструкция направляющих, открывание и закрывание по типу ящика.


Достижения в области электронной микроскопии CIQTEK — больше возможностей

>> Энергодисперсионная спектрометрия

>> Католуминесценция

>> ЭБСД

Технические характеристики CIQTEK FIB-SEM DB550
Электронная оптика Тип электронной пушки Высокояркая полевая электронная пушка Шоттки
Разрешение 0,9 нм при 15 кВ; 1,6 нм при 1 кВ
Ускоряющее напряжение 0,02 кВ – 30 кВ
Ионно-лучевая система Тип источника ионов Галлий
Разрешение 3 нм при 30 кВ
Ускоряющее напряжение 0,5 кВ – 30 кВ
Камера для образцов Вакуумная система Полностью автоматическое управление, безмасляная вакуумная система
Камеры

Три камеры

(Оптическая навигация x1 + монитор камеры x2)

Тип сцены Моторизованный 5-осевой механический эвцентрический предметный столик
Диапазон этапов

X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм

Т: -10°~+70°, Р:360°

Детекторы и расширения SEM Стандартный

Внутрилинзовый детектор электронов

Детектор Эверхарта-Торнли (ETD)

Необязательный

Выдвижной детектор обратно рассеянных электронов (BSED)

Выдвижной сканирующий просвечивающий электронный микроскоп (СТЭМ)

Энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX)

Картина дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD)

Наноманипулятор

Система впрыска газа

Плазменный очиститель

Шлюз для обмена образцами

Панель управления с трекболом и ручкой

Пользовательский интерфейс Языки Английский
Операционная система Окна
Навигация Оптическая навигация, быстрая навигация жестами
Автоматические функции Автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор
Оставить сообщение
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам для получения более подробной информации, запроса ценового предложения или заказа онлайн-демонстрации! Мы ответим вам, как только сможем.
Предмет : FIB-SEM | DB550
Представлять на рассмотрение
сопутствующие товары
fesem edx

Сканирующая электронная микроскопия сверхвысокого разрешения с полевой эмиссией (FESEM) The CIQTEK SEM5000X представляет собой сверхвысокоразрешающий FESEM с оптимизированной конструкцией электронно-оптической колонны, снижающей общие аберрации на 30%, достигая сверхвысокого разрешения 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ. Его высокое разрешение и стабильность делают его выгодным в передовых исследованиях наноструктурных материалов, а также в разработке и производстве высокотехнологичных узловых полупроводниковых ИС-чипов.

Узнать больше
field emission scanning electron microscope fe sem

Аналитический Шоттки Сканирующий электронный микроскоп с полевой эмиссией (FESEM) CIQTEK SEM4000Pro аналитическая модель FE-SEM, оснащенная высокояркой и долговечной полевой электронной пушкой Шоттки. Ее трехступенчатая конструкция электромагнитной линзы обеспечивает значительные преимущества в аналитических приложениях, таких как EDS / EDX, EBSD, WDS и т. д. Модель стандартно поставляется с режимом низкого вакуума и высокопроизводительным низковакуумным вторичным электронным детектором, а также выдвижным детектором обратно рассеянных электронов, что позволяет наблюдать за плохо проводящими или непроводящими образцами.

Узнать больше
scanning electron microscope market

Сверхвысокое разрешение Сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовой нитью The CIQTEK SEM3300 Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) Включает такие технологии, как "супертуннельная" электронная оптика, внутрилинзовые электронные детекторы и электростатические и электромагнитные составные объективные линзы. Применяя эти технологии к микроскопу с вольфрамовой нитью, можно превзойти давний предел разрешения такого СЭМ, что позволяет СЭМ с вольфрамовой нитью выполнять задачи анализа низкого напряжения, которые ранее были достижимы только с помощью полевых эмиссионных СЭМ.

Узнать больше
sem microscope price

Прочитайте CIQTEK СЭМ Микроскопы понимание потребностей клиентов и Узнайте больше о сильных сторонах и достижениях CIQTEK как лидера отрасли SEM! Электронная почта: info@ciqtek.com

Узнать больше
Вершина

Оставить сообщение

Оставить сообщение
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам для получения более подробной информации, запроса ценового предложения или заказа онлайн-демонстрации! Мы ответим вам, как только сможем.
Представлять на рассмотрение

Дом

Продукты

Чат

контакт