CIQTEK запускает решение для инспекции 12-дюймовых пластин для неразрушающего анализа с высоким разрешением и полным покрытием
CIQTEK запускает решение для инспекции 12-дюймовых пластин для неразрушающего анализа с высоким разрешением и полным покрытием
September 22, 2025
CIQTEK
представила свое следующее поколение
12-дюймовая пластина
сканирующий электронный микроскоп (СЭМ)
решение
, разработанное для удовлетворения требований современных процессов производства полупроводников. Это инновационное решение обеспечивает полную инспекцию пластины без необходимости вращения или наклона, обеспечивая неразрушающий анализ с высоким разрешением для поддержки разработки критически важных технологических процессов.
Оснащен
сверхбольшая сцена для путешествий
(X/Y ≥ 300 мм) система обеспечивает полное покрытие 12-дюймовых пластин, устраняя необходимость в вырезании или переносе образцов. Это гарантирует точное наблюдение «исходного размера, исходного положения». Благодаря
Электронная пушка с полевой эмиссией Шоттки
, он достигает разрешения
1,0 нм
при 15 кВ и 1,5 нм при 1 кВ, что сводит к минимуму повреждения от электронного пучка, что делает его идеальным для чувствительных материалов и конструкций.
Ключевые особенности
включать:
Сверхбольшая сцена для путешествий
(X/Y > 300 мм) для контроля всей пластины
Изображения высокого разрешения
: 1,0 нм при 15 кВ и 1,5 нм при 1 кВ
Автоматизированная загрузка
и
оптическая навигационная система
для быстрой замены пластин и точного позиционирования
Интеллектуальное программное обеспечение
для автофокусировки, коррекции астигматизма и вывода изображений в нескольких форматах
12-дюймовый СЭМ-анализатор CIQTEK для инспекции пластин — это больше, чем просто инструмент наблюдения; это важнейший прибор, позволяющий повысить выход продукции и уменьшить размеры узлов в производстве полупроводников.
26–30 сентября, Ухань
CIQTEK представит
восемь передовых решений в области электронной микроскопии
в
Китайская национальная конференция по электронной микроскопии 2025 г.
!
Га + Сканирующий электронный микроскоп с автоэмиссией и фокусированным ионным пучком The Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком (FIB-SEM) CIQTEK DB550 Оснащена колонной с фокусированным ионным пучком для наноанализа и подготовки образцов. Она использует технологию «супертуннельной» электронной оптики, низкую аберрацию и немагнитную конструкцию объектива, а также обладает функцией «низкое напряжение, высокое разрешение», обеспечивающей аналитические возможности в наномасштабе. Ионные колонки облегчают Ga + Источник ионов жидкого металла с высокостабильными и высококачественными ионными пучками, обеспечивающий возможности нанопроизводства. DB550 — это универсальная рабочая станция для наноанализа и производства нанокомпонентов со встроенным наноманипулятором, системой впрыска газа и удобным графическим интерфейсом.
Сканирующая электронная микроскопия сверхвысокого разрешения с полевой эмиссией (FESEM) The CIQTEK SEM5000X представляет собой сверхвысокоразрешающий FESEM с оптимизированной конструкцией электронно-оптической колонны, снижающей общие аберрации на 30%, достигая сверхвысокого разрешения 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ. Его высокое разрешение и стабильность делают его выгодным в передовых исследованиях наноструктурных материалов, а также в разработке и производстве высокотехнологичных узловых полупроводниковых ИС-чипов.
Сверхвысокое разрешение Сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовой нитью The CIQTEK SEM3300 Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) Включает такие технологии, как "супертуннельная" электронная оптика, внутрилинзовые электронные детекторы и электростатические и электромагнитные составные объективные линзы. Применяя эти технологии к микроскопу с вольфрамовой нитью, можно превзойти давний предел разрешения такого СЭМ, что позволяет СЭМ с вольфрамовой нитью выполнять задачи анализа низкого напряжения, которые ранее были достижимы только с помощью полевых эмиссионных СЭМ.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам для получения более подробной информации, запроса ценового предложения или заказа онлайн-демонстрации! Мы ответим вам, как только сможем.
Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам для получения более подробной информации, запроса ценового предложения или заказа онлайн-демонстрации! Мы ответим вам, как только сможем.