Сканирующая электронная микроскопия сверхвысокого разрешения с полевой эмиссией (FESEM)
The CIQTEK SEM5000X представляет собой сверхвысокоразрешающий FESEM с оптимизированной конструкцией электронно-оптической колонны, снижающей общие аберрации на 30%, достигая сверхвысокого разрешения 0,6 нм при 15 кВ и 1,0 нм при 1 кВ. Его высокое разрешение и стабильность делают его выгодным в передовых исследованиях наноструктурных материалов, а также в разработке и производстве высокотехнологичных узловых полупроводниковых ИС-чипов.
(*Необязательный)
Модернизация объектива
Хроматическая аберрация линзы была снижена на 12%, сферическая аберрация линзы была снижена на 20%, а общая аберрация была снижена на 30%.
Технология торможения двойным лучом
Замедление луча в линзе, применимое к образцам с большими объемами, поперечными сечениями и неровными поверхностями. Технология двойного замедления (замедление луча в линзе + тандемное замедление луча на столике образца) бросает вызов ограничениям сценариев захвата сигнала с поверхности образца.
«Эффект каналирования электронов» означает значительное уменьшение рассеяния электронов кристаллическими решетками, когда падающий электронный пучок удовлетворяет условию дифракции Брэгга, позволяя большому количеству электронов проходить через решетку, тем самым проявляя эффект «каналирования».
Для поликристаллических материалов с однородным составом и полированными плоскими поверхностями интенсивность обратно рассеянных электронов зависит от относительной ориентации между падающим электронным пучком и кристаллическими плоскостями. Зерна с большим изменением ориентации демонстрируют более сильные сигналы, поэтому более яркие изображения, качественная характеристика с такой картой ориентации зерен достигается.
>> Несколько режимов работы: Визуализация в светлом поле (BF), Визуализация в темном поле (DF), Визуализация в темном поле под большим углом (HAADF)
>> Энергодисперсионная спектрометрия
>> Католическая люминесценция
Программное обеспечение микроскопа CIQTEK SEM использует различные алгоритмы обнаружения и сегментации целей, подходящие для различных типов образцов частиц и пор. Оно позволяет проводить количественный анализ статистики частиц и пор и может применяться в таких областях, как материаловедение, геология и экология.
Выполняйте онлайн- и офлайн-постобработку изображений, полученных с помощью электронных микроскопов, и интегрируйте часто используемые функции обработки изображений ЭМ, удобные инструменты измерения и аннотирования.
Автоматическое распознавание краев ширины линии, что приводит к более точным измерениям и более высокой согласованности. Поддержка нескольких режимов обнаружения краев, таких как Line, Space, Pitch и т. д. Совместимость с несколькими форматами изображений и оснащен различными часто используемыми функциями постобработки изображений. Программное обеспечение простое в использовании, эффективное и точное.
Предоставляют набор интерфейсов для управления микроскопом SEM, включая получение изображений, настройки рабочих условий, включение/выключение питания, управление столиком и т. д. Краткие определения интерфейсов позволяют быстро разрабатывать специальные сценарии и программное обеспечение для работы электронного микроскопа, обеспечивая автоматическое отслеживание интересующих областей, сбор данных промышленной автоматизации, коррекцию дрейфа изображения и другие функции. Может использоваться для разработки программного обеспечения в специализированных областях, таких как анализ диатомовых водорослей, проверка примесей в стали, анализ чистоты, контроль сырья и т. д.
CIQTEK сверхвысокое разрешение FESEM SEM5000X |
Внутри завода CIQTEK: экскурсия по производству электронных микроскопов |
Технические характеристики микроскопа CIQTEK SEM5000X FESEM | ||
Электронная оптика | Разрешение |
0,6 нм при 15 кВ, SE
1,0 нм при 1 кВ, SE |
Ускоряющее напряжение | 0,02 кВ ~30 кВ | |
Увеличение | 1 ~ 2 500 000 х | |
Тип электронной пушки | Электронная пушка с автоэмиссией Шоттки | |
Камера для образцов | Камеры | Двойные камеры (оптическая навигация + монитор камеры) |
Тип сцены | 5-осевой механический эвцентрический предметный столик | |
Диапазон сцен |
X=110 мм, Y=110 мм, Z=65 мм
Т: -10*~+70°, П: 360° |
|
Детекторы и расширения SEM | Стандарт |
Детектор в линзе
Детектор Эверхарта-Торнли (ETD) |
Необязательный |
Выдвижной детектор обратно-рассеянных электронов (BSED) Выдвижной сканирующий просвечивающий электронный микроскоп (STEM) Детектор низкого вакуума (LVD) Энергодисперсионный спектрометр (EDS/EDX) Картина дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD) Загрузочный шлюз для обмена образцами (4 дюйма / 8 дюймов) Панель управления с трекболом и ручкой Режим Duo-Dec (Дуо-Дек) |
|
Пользовательский интерфейс | Языки | Английский |
Операционная система | Окна | |
Навигация | Оптическая навигация, быстрая навигация жестами, трекбол (опционально) | |
Автоматические функции | Автоматическая яркость и контрастность, автоматическая фокусировка, автоматический стигматор |