CIQTEK запускает решение для двухлучевого сканирования 8-дюймовых пластин для полноразмерного наблюдения, точной резки и комплексной обработки

По мере того, как производство полупроводников переходит к более тонким технологическим узлам, анализ дефектов на уровне пластины, определение местоположения неисправностей и микро-наноизготовление стали ключевыми факторами повышения выхода годных изделий. CIQTEK представляет Решение для двухлучевой обработки полноразмерных пластин диаметром 8 дюймов , объединяя визуализацию высокого разрешения и точную обработку ионным пучком для достижения «наблюдения-анализа-резки» по всей пластине, обеспечивая мощную техническую поддержку для современных полупроводниковых процессов.

Это решение оснащено 150-миллиметровым высокоточным столиком для образцов с большим ходом, что позволяет проводить неразрушающее исследование и обработку 8-дюймовых пластин. Внешняя оптическая система навигации и интеллектуальные алгоритмы предотвращения столкновений обеспечивают быстрое и точное позиционирование пластин и безопасную работу. Система оснащена электронной пушкой с полевой эмиссией Шоттки с разрешением 0,9 нм при 15 кВ и разрешением ионного пучка 3 нм при 30 кВ, что позволяет обнаруживать дефекты, поперечную резку и создавать микроструктуры в наномасштабе.

Основные преимущества:

• 150-мм подвижный столик:

• • Сочетает в себе большой запас хода и высокую точность для широкого диапазона наблюдений.

  • Отличная совместимость с приборами разных размеров.

  • Прочная конструкция обеспечивает устойчивость пластин и быструю, надежную загрузку.

• 8-дюймовая быстрая замена:

  • Интеллектуальная несущая конструкция со скользящим основанием для устойчивости и долговечности.

  • Полноразмерная совместимость: поддерживает пластины размером 2/4/6/8 дюймов.

  • Быстрая замена образцов: вакуумная откачка и загрузка образцов в течение одной минуты.

• Программное обеспечение и система предотвращения столкновений:

• • Полностью автоматическая интеллектуальная навигация с точным перемещением и позиционированием.

  • Многокоординатное скоординированное движение для наблюдения за всей пластиной.

  • Интеллектуальное предотвращение столкновений: моделирование траектории и алгоритмические пространственные расчеты для предотвращения рисков.

  • Множественный мониторинг в реальном времени: многоугловой мониторинг положения пластины в реальном времени.

• Внешняя оптическая навигация:

  • Сверхстабильная конструкция подавляет дрожание изображения.

  • Высокочеткое изображение с точным полем обзора для отображения всей пластины.

  • Профессиональное антибликовое освещение уменьшает отражение от поверхности пластины.

Диапазон наблюдения пластин

Решение CIQTEK для двухлучевого электронного микроскопа сочетает в себе выдающееся аппаратное обеспечение с интеллектуальными программными системами, обеспечивая эффективное обнаружение дефектов и оптимизацию процесса с помощью регулировки яркости и контрастности одним щелчком мыши, автоматической фокусировки и многоформатного вывода изображений, что позволяет пользователям выполнять всю цепочку задач от обнаружения дефектов до оптимизации процесса.