Различия между сканирующим электронным микроскопом (SEM) и просвечивающим электронным микроскопом (TEM)
Люди полагаются на свои чувства, чтобы воспринимать мир, и эти инструменты микроскопического анализа расширяют человеческое восприятие. Мы все знакомы с оптическими микроскопами, но эти микроскопы, работающие на основе визуализации линз, ограничены пределом Аббе, где разрешение ограничено половиной длины волны используемого света. Поэтому разрешение оптических микроскопов находится только на уровне микрометра из-за ограничения длины волны света. Однако быстро движущиеся электроны обладают корпускулярно-волновым дуализмом, и важной характеристикой электронов как волн является их длина волны. С увеличением ускоряющего напряжения длина волны электронов уменьшается. Используя более высокие ускоряющие напряжения, например 30 кВ, можно получить электроны с длиной волны примерно 7 пм. Электронные микроскопы создаются путем использования электронов в качестве «света» и замены обычных оптических линз магнитными линзами. Когда электроны взаимодействуют с твердым образцом, они производят ряд информации, связанной с образцом, включая наведенную электродвижущую силу, катодолюминесценцию, характеристическое рентгеновское излучение, обратно рассеянные электроны, оже-электроны, вторичные электроны, поглощенные электроны, прошедшие электроны и т. д. используя эту информацию, можно получить структурную информацию в микроскопическом масштабе. Tразличия между СЭМ и ПЭМ SEM (сканирующий электронный микроскоп) и TEM (просвечивающий электронный микроскоп) являются двумя распространенными формами электронных микроскопов. В СЭМ используются Sвторичные Eэлектроны (SE) и Back-рассеянные Eэлектроны (BSE) для захватывать изображения образца поверхности, а ПЭМ обнаруживает прошедшие электроны для создания проекционных изображений через Интерьер экземпляра. СЭМ сканирует поверхность образца сфокусированным электронным лучом и собирает сигналы, генерируемые в каждой точке, для построения попиксельно усиленного изображения. Сканирующая катушка, расположенная под линзой объектива, используется для точного направления луча через поверхность образца в плоскости XY. В зависимости от увеличения (до 2 миллионов раз) луч сканирует поле зрения от нескольких микрометров до миллиметров. Типичные ускоряющие напряжения для СЭМ колеблются от 1 кВ до 30 кВ, при этом более низкие ускоряющие напряжения обеспечивают более мягкий луч, что полезно для визуализации чувствительных к лучу и изолирующих образцов с. Вторичные электроны менее чувствительны к атомным номерам и более подходят для наблюдения топографии поверхности, тогда как обратнорассеянные электроны дают более сильные сигналы для образцов с большими атомными номерами, что делает их пригодными для композиционной визуализации. TEM обычно работает при ускоряющем напряжении от 30 до 300 кВ, что намного выше, чем напряжения, используемые в приборах SEM, что позволяет получать изображения с более высоким разрешением. ТЭМ с исправленной аберрацией может достигать пространственного разрешения ниже 1 Å, что позволяет наблюдать очень мелкие детал...